chroma 7936 雙面晶圓檢測系統

chroma 7936 雙面晶圓檢測系統 

主要特色：可同時檢測晶圓正反兩面大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區域達10 吋范圍 )可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓自動對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格瑕疵檢出率高達 98%可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析

Chroma 7936晶圓雙面檢測機為自動化的切割后 晶粒檢測機，可以同時間進行正反兩面的晶粒外 觀檢查。使用良好的打光技術，可以清楚的辨識 晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得7936可以適用于新的制程如垂 直結構晶粒或是覆晶晶粒。由于使用的高速相機以及自行開發之檢測演算 法，7936可以在4.5分鐘內檢測完2 吋 LED晶圓， 換算為單顆處理時間為35msec。7936同時也提 供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤的水平問題。7936可配置2種不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測 倍率。系統搭配的小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。系統功能 在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規則的 排列，7936也提供了搜尋及排列功能以轉正晶 圓。此外，7936擁有人性化的使用介面可降低 學習曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區域、檢測參數及結果等，均可清楚地透過軟體 介面呈現。瑕疵資料分析 所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅僅是 良品/不良品的結果。這有助于找出一組佳參 數，達到漏判與誤判的平衡點。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產生之趨勢，并回饋給制程人 員進行改善。綜合上述說明，Chroma 7936是晶圓檢測制程考 量成本與效能的佳選擇。

7936 雙面晶圓檢測系統

深圳市美佳特科技有限公司（簡稱“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測試、通用電子測量及5G測試服務。美佳特以“無線溝通，溝通無極限 "企業使命，業務聚焦于精密測試測量儀器的租賃、銷售、維護、計量及測試環境搭建等一站式服務。chroma 7936 雙面晶圓檢測系統?

主營產品：示波器主機和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號源、頻譜分析儀、網絡分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時域反射儀、可調諧激光源、光功率計、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛得萬、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號發生器,keysight E5071C 矢量網絡分析儀